2009年3月26日下午，科技部部长万钢在北京主持召开“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项第五次领导小组会议，研究部署应对国际金融危机，发挥科技支撑作用，促进经济平稳较快发展，加快推进专项工作进展，明确专项下一步工作方向。科技部副部长曹健林、北京市委常委赵凤桐、上海市副市长沈晓明出席会议，国家发展改革委、财政部、工业与信息化部、中国科学院、教育部等专项领导小组成员单位的领导参加了会议，专项咨询委员会主任马俊如研究员和专项专家总体组召集人叶甜春研究员列席会议。

    为推动专项项目组织实施和落实地方部门配套资金，专项领导小组还组织召开了由相关部门和地方科技主管部门领导及项目承担单位负责同志参加的实施推进会。曹健林副部长主持会议，万钢部长做重要指示，就专项的工作目标、工作任务提出明确要求。